半導體設備的精密製造與自動化整合

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半導體製造的關鍵技術挑戰

半導體製造要求奈米級精度、零污染控制,以及在每一制程階段皆不可妥協的制程穩定性。

奈米級精度控制

零組件精度達奈米級公差控制水準。

超潔淨制程控制

無微粒設計,確保良率與晶片完整性。

成本與良率壓力

高資本投入要求設備維持高運行效率與産能穩定性。

全球供應鏈複雜性

以穩定可靠的系統,降低營運風險與供應中斷所造成的影響。

ACM强化半導體精密制程能力

ACM提供超潔淨、高精度解決方案,支援半導體製造應用,涵蓋晶圓制程、微影系統及先進封裝與組裝設備。

高精度零組件製造

嚴格公差控制零組件,幷經完整 CMM 三次元量測檢驗。

半導體制程專業工程能力

工程團隊專爲半導體制程需求而優化配置。

精密子組件與整機組裝

精密製作子組件與模組,確保系統的穩定與長期可靠的運行。

模組化系統整合

整合式模組設計,加速設備導入與量産準備的進程。

强化您的半導體精密制程系統

我們提供關鍵半導體製造所需的高精度零組件與子系統模組。

 

我們的解决方案支援更高良率、更嚴格公差控制超潔淨運行,涵蓋微影、量測與搬運等制程環節。

 

從晶圓廠制程至最終測試,我們確保設備穩定性與制程可靠度。

 

 

DUV 微影設備

EUV 微影系統

量測與檢測系統

晶圓搬送

DUV 微影設備

深紫外光微影系統

 

高精度光學元件與高剛性機構結構設計,確保在 193nm 浸潤式微影環境下維持長期圖形精度穩定性。

 

 

深紫外光學技術

深紫外光學技術

光學精度控制

光學精度控制

浸潤式微影技術

浸潤式微影技術

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EUV 微影系統

極紫外光微影設備

 

超高穩定性精密零組件,在嚴苛熱負載與高真空環境下支援奈米級精度控制。

 

 

高精度結構設計

高精度結構設計

熱穩定性控制

熱穩定性控制

真空相容設計

真空相容設計

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量測與檢測系統

支援晶圓制程之高精度量測與缺陷檢測設備

 

高精度定位模組與剛性結構設計,確保量測結果可重複性與穩定缺陷檢測能力。

 

 

量測精度

量測精度

可重複性控制

可重複性控制

結構穩定性

結構穩定性

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晶圓搬送

晶圓搬送與傳輸系統

 

潔淨且高精度的搬送機構設計,確保低粒子生成、平穩運動控制,以及制程間穩定可靠的晶圓轉運。

 

 

高可靠度搬送設計

高可靠度搬送設計

超潔淨結構設計

超潔淨結構設計

高穩定運動控制

高穩定運動控制

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預約技術諮詢

結合我們的工程與技術經驗,爲您的應用需求提供專業建議與製造支援。

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